结构方面光刻机就很复杂，其中包括照明系统，镜头组，性能指标，基片尺寸范围，分辨率，对准精度，曝光方式，光源波长，光强均匀性，还有最重要的生产效率。

内部封闭框架，也分为很多，能量探测，掩模板、掩模台，物镜，曝光台，减震装置，然后是硅片，测量台，分散到测量设备。还有遮光器，光束形状设置，能量的控制，光束的矫正，以及激光器。

这里边这么多东西，无论哪一步都是需要慢慢来摸索的，设计图也不是画出来就一定能顺利研发，后期研发当中遇到问题需要修改，然后重新设计某一部分。

如果光刻机那么容易搞出来，那么在后世，光刻技术也就不会停止20年才进步了。

伴随着哐哐哐的火车声，唐溪这一次待在车厢都没出去，几乎在车厢里修改设计图，累了直接躺下休息，醒了继续倒腾设计图。

夜晚七点，火车抵达京市。

伴随着呜呜呜的火车鸣笛声，几分钟之后火车停了下来。

几人没什么行李，就几件衣服以及唐溪的设计图，这些东西唐溪都自己拿着下了火车。

随着人群走出车厢，唐溪抬头朝着出站口那边看过去，果不其然看到了张天华还有他身边的薛宁远教授。

不远处两人也看到了唐溪，一起朝着这边方向挥手。

看着两位老前辈这可爱挥手的动作，唐溪忍不住露出一抹笑容。

抬脚朝着他们那边走过去，到了他们跟前儿，唐溪开口打招呼：“张院，薛教授。”

“哈哈哈，唐溪，这次咱们又可以一起工作了。”薛宁远笑呵呵开口，打量唐溪一会儿，视线最终落在唐溪手上的包包上，凑近一点距离，压低嗓音开口问道：”设计图出来了没有？”

“画了一部分，还需要修改。”唐溪也小声回了一句。

瞅着一老一小说那什么接头似的说悄悄话，张天华笑了，开口：“好了好了，出去说，这儿说话不方便。”

“对对对，出去说，一会儿唐溪你回家还是回去咱们院？”薛宁远再次问道。

“先过去院里吧，时间还早。”唐溪低头瞥了一眼手表上的时间，才七点左右，先过去院里一趟，再回家不迟。

再说了，她今天回来京市也没告诉许教授他们，原本她计划是过两天才回来的。

一行人走出火车站，来到停车的地方，几人陆续上车。

后排座位上，唐溪，张天华，薛宁远三人坐在一起，另外王全自己开车跟在后面。

车子刚刚上路，薛宁远就再次迫不及待开口了。

“唐溪，快快快，设计图给我看看，我可是期待好久了，就等着你回来京市呢。”

自从上次张天华说了项目申请的事儿薛宁远就上心了，这段时间收集了许多相关的资料，就等着唐溪这边过来了。

好不容易等到唐溪，薛宁远可不是等不及要看设计图了。

“对对对，给我也看看，申请项目的事儿唐溪你打算什么时候填写资料？你看是明天还是后天？这事儿得趁早，我好过去领导那里要经费啊。”张天华也附和着开口道。

提到要经费，张天华眸光都亮了，已经迫不及待想要去找领导了。

“明天后天都行，我先把设计图给您两位看看，顺便看看还有哪里需要修改的。”唐溪笑吟吟回了两句，伸手从自己包里拿出了之前火车上修改过的设计图。

唐溪设计图递过去的时候张天华和薛宁远两人同时伸手过去接设计图，双方看到那只多出来的手，瞬间抬头朝着对方看过去。

“我先看，你又看不懂什么。”薛宁远吐槽一句，动作忒迅速接过了唐溪递过来的设计图。

张天华倒是不生气，多年老朋友了，对方啥性子他太清楚了，看到薛宁远拿了设计图，张天华倒是不客气，直接凑过去，一块看。

看到设计图，不难看出来有过不少次修改的痕迹，但是不得不说任何时候看唐溪的设计图都让人有惊喜。

用极其简单的线条勾勒出一副让人惊艳的设计图，其中一副还有光刻机的工艺流程示意图，画的非常精细，还细心在旁边进行了标注。

张天华和薛宁远看着设计图，隐约看出来原本未修改之前的痕迹，两张对比之后，发现果然修改之后要更加合适。

唐溪看到见两位认真的模样，也稍微过去一点跟着看，偶尔还指着某一处问一些薛教授的想法还有意见。

说实话，就唐溪这设计图，应该没有再修改的进步空间了。

按照唐溪的设计图，可以想象未来项目前半部分应该会比较顺利。

有了唐溪这份设计图，这条路可以少走许多弯路，在光刻技术这方面，已经停滞不前好几年时间，现在看到这份设计图，薛宁远忍不住激动。

或许，光刻机技术，不久便可以往前跨进一大步……